傳感器測量范圍
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400um
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傳感器針尖半徑
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5um/2um
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傳感器針尖材料
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金剛石
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傳感器觸針測力
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4mN/0.75mN
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*大驅(qū)動(dòng)行程
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19mm/0.748inch
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驅(qū)動(dòng)速度
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當(dāng)取樣長度=0.08mm Vt=0.25mm/s
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當(dāng)取樣長度=0.25mm Vt=0.25mm/s
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當(dāng)取樣長度=0.8mm Vt=0.5mm/s
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當(dāng)取樣長度=2.5mm Vt=1mm/s
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返回時(shí) V=1mm/s
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示值誤差
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≤±10%
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示值重復(fù)性
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≤6%
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取樣長度
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0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm可選
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評(píng)定長度
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1L-5L(可選),L為取樣長度
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測量范圍
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自動(dòng)
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分辨力:0.001um、0.008um
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±50um
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分辨力:0.001um
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±200um
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分辨力:0.008um
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電源
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鋰離子充電電池1塊/電源適配器
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外形尺寸和重量
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155.4mm×75mm×56mm,約760g
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名稱
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數(shù)量
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名稱
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數(shù)量
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標(biāo)準(zhǔn)傳感器
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1支
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傳感器護(hù)套
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1件
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主機(jī)
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1臺(tái)
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支架
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1件
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標(biāo)準(zhǔn)樣板
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1塊
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起子
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1把
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電源適配器
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1個(gè)
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通訊電纜
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1根
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